SENSORES ELECTROQUÍMICOS
Se han desarrollado los ISFETs y los microelecrodos de Pt para la medida de conductividad. La evaluación de estos sensores para soluciones acuosas estándar fue satisfactoria como lo demuestran las graficas correspondientes:
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| Chip del sensor de conductividad | Chip de un ISFET | Chip encapsulado en una PCB |
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Respuesta del sensor de conductividad |
Respuesta de 5 ISFETs de pH |
Los sensores basados en epoxy-grafito (ISEs) se han desarrollado para su integración en los substratos de LTCC. Inicialmente se ha realizado un diseño en forma tubular para estudiar el comportamiento de las distintas membranas selectivas a iones en sistemas de flujo convencionales. Se han caracterizado varios ISEs con membranas de PVC. En la figuras se muestra un ISE tubular y varias curvas de calibración para un sensor de nitratos.
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| ISE tubular para medida en flujo | Curvas de calibración de un ISE de nitratos, midiendo en flujo |
Los sensores para medida de O2 disuelto se basan en la deposición mediante serigrafia (Screen printing) de tintas que contienen Pt u Au. Como membranas permeables se están probando materiales como Teflón o PDMS. En la figura se observa un diseño del sensor con el electrodo auxiliar concéntrico. Para la fabricación de electrodos de referencia se ha utilizado una tecnología parecida pero con tintas de Ag y AgCl o electrodepositando AgCl por oxidación de la Ag. Estos electrodos estén siendo actualmente evaluados.
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| Electrodo para medida de O2 fabricado bajo un substrato de LTCC |
